新材料干燥箱厂商-程运自动化

热风循环烘箱——真空干燥箱使用方法

真空箱调试

在真空度调试完毕后，可作如下操作：

a.打开真空箱电源，此时电源指示灯应亮(6090及6210型应再分别打开控温仪开关)控温仪通电自检，PV屏显示工作室内测量温度，SV屏显示出厂时设定的温度。控温仪上AT及HEAT等灯应亮，表示仪表进入加温的工作状态。

b.修改设定温度

1.按一下控温仪的功能键(SET)；PV屏显示SP字符后，可用键头按钮进行设定温度的修改(6090与6210型对2及3个仪表应分别设定修改，新材料干燥箱厂商，以下类同)。

2.修改完毕后，再按一下SET键，PV屏显示ST字符，设定定时时间。

如不使用定时功能，则仍然让其ST=0

3.再按一下SET键，使PV屏显示工作室温度，SV屏显示新的设定温度。仪表AT及HEAT灯亮，此时仪表重新进入加温的工作状态

热风循环烘箱在光刻中的应用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻胶{ */}。粘合剂或硅片放置在惰性气体中进行热处理。该工艺旨在提高光刻胶与硅片之间的附着力，防止显影时间的延长，防止湿腐蚀过程。使用粘合剂的防腐剂。首先，采用真空法从胶粘机上的硅天花板上抽油，将吴定量的粘性光刻胶涂在幽l灵表面，然后时间设定涂层的速度和旋转速度。在离心力作用下，光刻胶表面均匀分散，去除多余的光刻胶，获得吴定厚度的光刻胶膜。胶厚控制胶的粘度和橡胶的速度，预干燥由于溶剂缓蚀剂作用，在80℃的硅片上，防腐剂是干的。微波炉是吴种惰性气体，干燥时间通常在15-30分钟之间的光刻胶清除器。

2、掩码对齐

由于集成电路的制造过程是吴层的过程，所以每个层的位置不能移动。热风循环烘箱吴般有加热管，有循环风机的烘箱都可称为热风循环烘箱，因为不管烘箱什么结构，风向水平还是垂直，归根到底都是热风在里面循环，所以都可通称为热风循环烘箱，如电热鼓风烘箱，对开门高温灭菌烘箱等。掩模和晶片可以对齐在晶片上。

吴江程运自动化烘干设备有限公司是一家集技术开发研究、生产、销售、***服务于一体的企业，***生产多种电热机械设备。

产品种类：烘箱、烤箱、电烘箱、电热烘箱、恒温烘箱、电焊条烘箱、可编程烘烤箱、精密烘箱、去氢烘箱、真空烘箱、防爆烘箱、浸漆干燥箱、电热鼓风干燥箱、热风循环烘箱、新型节能环保电热烘箱、节能流水线烘道等大型烘箱设备。该设备采用新的变频技术和热导热原理，热能再生利用从而达到高l效节能省电的效果。独特的风道及发热设计使工作室内具有温度均匀、效l率高、升温快、自动超温报警、温度精l确等特点。

工业烘箱

供工矿企业、化验室外、l科研单位等作干燥、烘焙、熔腊、灭菌之用。

??箱体结构:

??1、工作室采用优l质钢板或不锈钢板。

??2 、微电脑智慧控温仪，具有设定，测定温度双数字显、定时、功率***和自整定功能。

??3 、热风循环系统由低噪声风机和风道组成，工作室内温度均匀。